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规则排序提示词驱动大型多模态模型实现零样本多类别晶圆图分类
Zero-Shot Multi-Class Wafer Map Classification with Rule-Ordered Prompts for Large Multimodal Models
AI 导读
一个无需训练、面向冻结大型多模态模型的六类晶圆图分类框架，用连通域高亮配合形态、位置与排除感知提示词做多区域提示，在 Mixed-WM38（6,866 张图）上达到 92.9% macro 和 93.8% 总体准确率。在 WM811K（9,000 张图）上分别为 79.1% 和 81.3%；8 种替代规则顺序的总体准确率为 90.1-91.9%，低于所选顺序的 93.8%。
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